用于测量量块尺寸的激光干涉测量方法研究

计量学激光干涉量块坐标测量

量块支撑与安装方式对坐标测量机尺寸测量示值误差的影响已经越来越引起重视，尤其对于线性测量精度为0.6 μm+1000/L以上的计量型坐标测量机量块安装姿态对校准结果的影响不可忽略。利用单频激光干涉仪作为测量仪，通过专用变形量测量系统，测量量块在不同姿态下支撑位置对量块中心长度的影响。提出利用多点支撑法，减小量块长度变化量的测试方案。实验结果表明，采用多点支撑法测得量块最大变形量为+0.21 μm，并根据对坐标测量机尺寸测量示值误差测量结果不确定度分析，重新计算其标准不确定度为0.75 μm。

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