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单晶炉机械结构-综合文档
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上传者:
38635794
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上传时间: 2024-04-16 20:14:39
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文件大小: 8.28MB
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文件类型: ZIP
单晶炉机械结构单晶炉机械结构.ppt,TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修 背景 — 半导体生产流程 设备简介 直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。 将多晶硅原料
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