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微纳器件及其应用-北京大学课件
微纳器件及其应用-北京大学课件
上传者:
38512659
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上传时间: 2024-03-12 13:09:14
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文件大小: 8.81MB
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文件类型: PDF
本课件主要内容:一、课程简介与要求、二、MEMS发展历史、三、MEMS创新世界、四、中国 PK 世界等
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